
高性能ポンプの採用により、負荷側温度を常に均一に制御できます。昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮できます。
■ MAX 95℃タイプ
■ MAX 120℃タイプ
CVD装置、ロール・ジャケット・各種チャンバーなど、多様な用途の温度管理に対応可能です。
■ 流量 200L/minタイプ
■ 流量 350L/minタイプ
■ 流量 600L/minタイプ
180℃までの高温域に対応し、昇温効率が良い。
大流量ポンプの採用で、均一の温度管理が可能。
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